科创100ETF鹏华(588220)标的指数涨超1.1%，国产化替代加速，半导体芯片产业链集体上涨

半导体设备集体拉升，消息面上，国产极紫外（EUV）光源系统样机在第二十六届中国国际工业博览会首次公开亮相，国产化率达90%，技术路线与国际领先厂商一致。