光刻机巨头单季业绩创新高，设备订单排产已至2030年，半导体ETF博时(159582)近5日累计净流入超4600万元

半导体ETF博时(159582)近5日净流入4658.43万元，跟踪中证半导体产业指数；阿斯麦Q3业绩超预期，订单排产至2030年。